半導体・量子素子高分解能放射光分析技術研究組合(SQAT)は、
大型放射光施設「SPring-8」の高度化された放射光X線を活用した
半導体デバイス向けの高度分析技術を開発する技術研究組合です
Project 01
SPring-8の高輝度・高コヒーレンスを特長とする放射光を用いた半導体・量子素子の高度分析のための測定手法およびその測定装置の開発に関する試験研究
Project 02
高度分析を実現するために必要となる測定装置の定量的な性能諸元に関する知見を得るための試験研究
Project 03
測定装置の適用範囲拡大と最適な運用方法等に関する知見を得るための試験研究
565-0871 大阪府吹田市山田丘2-1
大阪大学吹田キャンパス内 21世紀プラザ202
平日9:00~17:00 / 土日祝定休